专注于碳化硅外延炉，纳设智能完成数千万元天使轮融资

投资界（微信ID：pedialy2012）消息，深圳市纳设智能装备有限公司（简称“纳设智能”）近日完成了数千万元天使轮融资，由东方富海管理的中小企业发展基金（深圳南山有限合伙）及老股东深圳嘉远资本联合投资。本轮融资资金将用于第三代半导体碳化硅化学气相沉积外延设备（简称“碳化硅外延炉”，如图一所示）的产品研发、工艺验证、市场推广以及技术团队扩建。

纳设智能成立于2018年10月，坐落在深圳市光明区留学人员创业园，近期已通过国家高新技术企业初步认定。公司拥有一支包括顶级科学家在内的研发团队，致力于第三代半导体等先进材料领域的高端装备制造。

纳设智能专注于碳化硅产业链里关键的碳化硅外延炉，此设备的关键难点就是温度高，需要达到接近1700oC, 需要的反应室材料、温度控制、气体控制、防污染、工艺等都是面临的挑战，而纳设智能团队已掌握相应的自主创新的技术解决方案，可以实现产业化。公司研发团队的主要行业经验包括MOCVD设备、刻蚀设备以及纳米材料等多款半导体设备和工艺开发及市场推广，具有深厚的技术积累和丰富的行业资源；在先进设备的产品化和市场化推广方面拥有平均十年以上的实战经验。2019年，团队成立仅一年便成功完成4台设备的设计组装及调试，其中包括中国首台开放式卷对卷石墨烯化学气相沉积设备，实现了开放条件下，24小时连续不间断生产石墨烯、碳纳米管等先进薄膜材料，该技术实现了全球最低CVD石墨烯薄膜的生产成本；另外也销售了三台科研级CVD设备。

本轮融资资金将支持纳设智能的技术团队实现第三代半导体碳化硅高温化学气相沉积外延设备的高质量产业化，以满足第三代半导体产业规模爆发式增长和技术升级自主可控的重大需求，助力攻关新材料先进装备的核心技术难点，研制国内领先世界一流的碳化硅外延设备，实现下游产业化应用。同时，纳设智能也在不断扩大团队规模，吸纳培养更多的半导体专业技术研发人员，打造一流的人才聚集地。